通过在样品上形成导电层的镀膜，用来抑制电荷，减少热损伤，并提高在SEM中定位检查所需的二次电子信号。徕卡显微系统的镀膜系列包括在FE-SEM和TEM中用于高分辨率分析的镀膜设备徕卡EM ACE600高真空镀膜机和徕卡EM ACE200喷金仪/喷碳仪，成为一个快速，方便和直观的处理的完全自动化的系统。